Verfahren zum Entfernen von Kupfer von Mikroelektronischen Bauteilen

WO0053824 Art A1 14. September 2000

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, STMicroelectronics S.A. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0053824
Aktenzeichen: EP00909430
Anmeldetag: 6. März 2000
Veröffentlichung: 14. September 2000
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/18H01L21/306H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
STMicroelectronics S.A.
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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