Verfahren zur Herstellung von Polymerstrukturen auf einem Substrat mittels eines Ätzprozesses

WO0054316 Art A1 14. September 2000

Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0054316
Aktenzeichen: EP00926669
Anmeldetag: 10. März 2000
Veröffentlichung: 14. September 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ROBERT BOSCH GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Robert Bosch

Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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