Contactless optical probe for use in semiconductor processing metrology
WO0055885
Art A1
21. September 2000
Anmelder: VANDERBILT UNIVERSITY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0055885
- Aktenzeichen
- EP00917995
- Anmeldetag
- 15. März 2000
- Veröffentlichung
- 21. September 2000
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- VANDERBILT UNIVERSITY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Vanderbilt University
Private Forschungsuniversität in Nashville, Tennessee, USA, bekannt für Programme in Medizin, Recht und Ingenieurwissenschaften.
416 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.