Position determining device, position determining method and exposure device, exposure method and alignment determining device, and alignment determining method

WO0057126 Art A1 28. September 2000

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0057126
Aktenzeichen: EP00911293
Anmeldetag: 23. März 2000
Veröffentlichung: 28. September 2000
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00H01L21/66H01L21/027G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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