Dämpfungssystem für Druckschwankungen

WO0058036 Art A1 5. Oktober 2000

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0058036
Aktenzeichen: EP00911900
Anmeldetag: 22. Februar 2000
Veröffentlichung: 5. Oktober 2000
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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