Electrostatically focused addressable field emission array chips (afea's) for high-speed massively parallel maskless digital e-beam direct write lithography and scanning electron microscopy

WO0060632 Art A2 12. Oktober 2000

Anmelder: UT-Battelle, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0060632
Aktenzeichen: EP00919801
Anmeldetag: 29. März 2000
Veröffentlichung: 12. Oktober 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01J3/02H01J37/065G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: UT-Battelle, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 UT-Battelle

UT-Battelle ist der Betreiber des Oak Ridge National Laboratory in den USA, ein Gemeinschaftsunternehmen der University of Tennessee und des Battelle Memorial Institute. Das Patentportfolio deckt breit Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Metallurgie und Werkstoffe ab. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

498 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von