Method for predicting yield on semiconductor product and apparatus therefor

WO0065638 Art A1 2. November 2000

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0065638
Aktenzeichen
EP00917431
Anmeldetag
24. April 2000
Veröffentlichung
2. November 2000
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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