Pecvd von Tantalschichten aus Tantalhalogeniden als Vorläuferverbindungen

WO0065640 Art A1 2. November 2000

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0065640
Aktenzeichen: EP00923619
Anmeldetag: 25. April 2000
Veröffentlichung: 2. November 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/285H01L21/3205C23C16/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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