System for non-destructive measurement of samples
WO0068656
Art A1
16. November 2000
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0068656
- Aktenzeichen
- EP00928760
- Anmeldetag
- 3. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 16. November 2000
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01J4/00G01B11/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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