Tantalum and tantalum-based films formed using fluorine-containing source precursors and methods of making the same

WO0070118 Art A1 23. November 2000

Anmelder: GELEST, INC., THE RESEARCH FOUNDATION OF STATE UNIVERSITY OF NEW YORK 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0070118
Aktenzeichen: EP00932473
Anmeldetag: 16. Mai 2000
Veröffentlichung: 23. November 2000
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen: GELEST, INC.
THE RESEARCH FOUNDATION OF STATE UNIVERSITY OF NEW YORK
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Research Foundation of State University of New York

The Research Foundation of State University of New York verwaltet Forschungsergebnisse und Patente des SUNY-Hochschulsystems in den USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um organische Chemie. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2000 bis 2015.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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