System for sensing a sample
WO0070296
Art A1
23. November 2000
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0070296
- Aktenzeichen
- EP00932416
- Anmeldetag
- 12. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 23. November 2000
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B5/28G01B7/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.