Device for film deposition

WO0070662 Art A1 23. November 2000

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0070662
Aktenzeichen
EP00929777
Anmeldetag
17. Mai 2000
Veröffentlichung
23. November 2000
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/00C30B25/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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