Vorrichtung und Verfahren zur Optischen Messung eines Abstandes unter Verwendung einer in einer Richtung Gechirpten Zweidimensionalen Gittermarke

WO0072093 Art A1 30. November 2000

Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0072093
Aktenzeichen: EP00936290
Anmeldetag: 25. Mai 2000
Veröffentlichung: 30. November 2000
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00

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Anmelder

Firma: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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