Tetrahyrofuran-adducted group ii $g(b)-diketonate complexes as source reagents for chemical vapor deposition

WO0073314 Art A1 7. Dezember 2000

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0073314
Aktenzeichen: EP00930474
Anmeldetag: 8. Mai 2000
Veröffentlichung: 7. Dezember 2000
Rechtsraum: WO
IPC: C07F5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Organische Chemie

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