In-Situ Justagesystem für Punktbeugungsinterferometrie mit Phasenverschiebung

WO0073753 Art A1 7. Dezember 2000

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0073753
Aktenzeichen: EP00938118
Anmeldetag: 31. Mai 2000
Veröffentlichung: 7. Dezember 2000
Rechtsraum: WO
IPC: G01J9/02G01M11/02G01B9/02G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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