Kaskadereiniger für Platten

WO0074114 Art A1 7. Dezember 2000

Anmelder: OLIVER DESIGN, INC., LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0074114
Aktenzeichen: EP00937836
Anmeldetag: 26. Mai 2000
Veröffentlichung: 7. Dezember 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: OLIVER DESIGN, INC.
LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von