Optical view port for chemical mechanical planarization endpoint detection

WO0076725 Art A1 21. Dezember 2000

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0076725
Aktenzeichen: EP00939775
Anmeldetag: 10. Juni 2000
Veröffentlichung: 21. Dezember 2000
Rechtsraum: WO
IPC: B24B49/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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