Verfahren zur Herstellung von Kupfer-Verbindungsleitungen für Mikroelektronische Vorrichtungen

WO0077847 Art A1 21. Dezember 2000

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, FRANCE TELECOM, FRANCE TELECOM exploitant public 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0077847
Aktenzeichen: EP00949540
Anmeldetag: 14. Juni 2000
Veröffentlichung: 21. Dezember 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
FRANCE TELECOM
FRANCE TELECOM exploitant public
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von