Production method for semiconductor integrated circuit device and semiconductor integrated circuit device
WO0079586
Art A1
28. Dezember 2000
Anmelder: Hitachi, Ltd., Hitachi ULSI Systems Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0079586
- Aktenzeichen
- EP00939110
- Anmeldetag
- 21. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2000
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/768H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hitachi, Ltd.
Hitachi ULSI Systems Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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