Semiconductor Manufacture Equipment

WO0103168 Art A1 11. Januar 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, TAISEI CORPORATION, Ohmi, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0103168
Aktenzeichen: EP00940890
Anmeldetag: 29. Juni 2000
Veröffentlichung: 11. Januar 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
TAISEI CORPORATION
Ohmi, Tadahiro
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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