Mikromechanisches Bauelement mit Kontaktdurchführungen, sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikromechanischen Bauelements

WO0104595 Art A1 18. Januar 2001

Anmelder: EADS Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0104595
Aktenzeichen: EP00951257
Anmeldetag: 4. Juli 2000
Veröffentlichung: 18. Januar 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G01L9/12H01L23/498

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EADS Deutschland GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇫🇷 Airbus

Französisch-europäischer Luft- und Raumfahrtkonzern, entwickelt und produziert zivile Verkehrsflugzeuge, Hubschrauber sowie Raumfahrt- und Verteidigungssysteme.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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