Punktbeugungsinterferometer mit Verbesserten Fokussierhilfsmaske

WO0107885 Art A2 1. Februar 2001

Anmelder: The Regents of The University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0107885
Aktenzeichen: EP00975145
Anmeldetag: 26. Juni 2000
Veröffentlichung: 1. Februar 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G01M1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of The University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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