Device for opening/closing semiconductor container and method for producing semiconductor device
WO0108212
Art A1
1. Februar 2001
Anmelder: Hitachi, Ltd., HITACHI PLANT ENGINEERING AND CONSTRUCTION CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0108212
- Aktenzeichen
- EP00948242
- Anmeldetag
- 27. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hitachi, Ltd.
HITACHI PLANT ENGINEERING AND CONSTRUCTION CO., LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
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