Verfahren und Vorrichtung zur Katalytischen Umsetzung Fluorierter Verbindungen in Gasen

WO0108786 Art A1 8. Februar 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0108786
Aktenzeichen: EP00953681
Anmeldetag: 26. Juli 2000
Veröffentlichung: 8. Februar 2001
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/86B01D53/75

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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