Sic material, semiconductor processing equipment and method of preparing sic material therefor

WO0109407 Art A1 8. Februar 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, TOYO TANSO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0109407
Aktenzeichen: EP00949960
Anmeldetag: 2. August 2000
Veröffentlichung: 8. Februar 2001
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/42C01B31/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
TOYO TANSO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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