Harte Maske aus Wolfram zum Trockenätzen von Aluminium Enthaltenden Schichten

WO0109937 Art A1 8. Februar 2001

Anmelder: Infineon Technologies North America Corp., International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0109937
Aktenzeichen: EP00939855
Anmeldetag: 14. Juni 2000
Veröffentlichung: 8. Februar 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Infineon Technologies North America Corp.
International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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