Kalibrierung eines Rasterelektronenmikroskops
WO0111656
Art A1
15. Februar 2001
Anmelder: Kla Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0111656
- Aktenzeichen
- EP00953973
- Anmeldetag
- 11. August 2000
- Veröffentlichung
- 15. Februar 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/28H01J37/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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