Optical device for illumination, exposure device, container of optical part, method of assembling exposure device, method of evaluating material, and method and device for evaluating filter

WO0111665 Art A1 15. Februar 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0111665
Aktenzeichen: EP00951883
Anmeldetag: 4. August 2000
Veröffentlichung: 15. Februar 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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