Detection of film thickness through induced acoustic pulse-echos
WO0113059
Art A1
22. Februar 2001
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0113059
- Aktenzeichen
- EP00957520
- Anmeldetag
- 17. August 2000
- Veröffentlichung
- 22. Februar 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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