Verfahren und Gerät zur Bestimmung des Endpunkts einer Nach-Belichtungs-Trocknung (peb) mittels Gasanalyse

WO0118607 Art A1 15. März 2001

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0118607
Aktenzeichen: EP00923459
Anmeldetag: 18. April 2000
Veröffentlichung: 15. März 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/38H01L21/66H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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