Rasterelektronenmikroskop mit einer Elektrode zur Verhinderung der Elektrostatischen Aufladung Während des Abrasterns der Probe
WO0118843
Art A1
15. März 2001
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0118843
- Aktenzeichen
- EP00961703
- Anmeldetag
- 7. September 2000
- Veröffentlichung
- 15. März 2001
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/28H01J37/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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