Process for fabrication of 3-dimensional micromechanisms

WO0118857 Art A1 15. März 2001

Anmelder: UNIVERSITY OF MARYLAND COLLEGE PARK 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0118857
Aktenzeichen: EP00976541
Anmeldetag: 1. September 2000
Veröffentlichung: 15. März 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/30H01L21/46H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UNIVERSITY OF MARYLAND COLLEGE PARK
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Maryland, College Park

Die University of Maryland, College Park ist eine öffentliche Forschungsuniversität im US-Bundesstaat Maryland mit breitem naturwissenschaftlich-technischem Fächerspektrum. Das Patentportfolio aus der universitären Forschung verteilt sich auf Medizintechnik, Halbleitertechnik sowie organische Chemie und Pharma- bzw. Biotechnologie. Anmeldungen laufen durchgehend seit 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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