Exposure device with laser device

WO0120398 Art A1 22. März 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0120398
Aktenzeichen: EP00957034
Anmeldetag: 8. September 2000
Veröffentlichung: 22. März 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/37G03F7/20H01L21/027H01S3/06H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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