Optimal phase conflict removal for layout of alternating phase-shifting masks

WO0120502 Art A1 22. März 2001

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0120502
Aktenzeichen: EP00968369
Anmeldetag: 18. September 2000
Veröffentlichung: 22. März 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G06F17/50G06F17/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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