Integriertes Optisches Abfragen von Mikrostrukturen

WO0120617 Art A1 22. März 2001

Anmelder: UT-Battelle, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0120617
Aktenzeichen: EP00963530
Anmeldetag: 15. September 2000
Veröffentlichung: 22. März 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G12B21/08G01B7/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UT-Battelle, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 UT-Battelle

UT-Battelle ist der Betreiber des Oak Ridge National Laboratory in den USA, ein Gemeinschaftsunternehmen der University of Tennessee und des Battelle Memorial Institute. Das Patentportfolio deckt breit Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Metallurgie und Werkstoffe ab. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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