Linear und Angular Retroreflektierendes Interferometrisches Alignierungsziel

WO0122031 Art A1 29. März 2001

Anmelder: UT-Battelle, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0122031
Aktenzeichen: EP00975638
Anmeldetag: 20. September 2000
Veröffentlichung: 29. März 2001
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/27G01B11/30G01D5/30G02B5/122

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UT-Battelle, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 UT-Battelle

UT-Battelle ist der Betreiber des Oak Ridge National Laboratory in den USA, ein Gemeinschaftsunternehmen der University of Tennessee und des Battelle Memorial Institute. Das Patentportfolio deckt breit Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Metallurgie und Werkstoffe ab. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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