Verfahren zur Verbesserten Schätzung der Kritischen Abmessungen bei der Herstellung von Mikroelektronischen Bauelementen

WO0122183 Art A1 29. März 2001

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0122183
Aktenzeichen
EP00932092
Anmeldetag
5. Mai 2000
Veröffentlichung
29. März 2001
Rechtsraum
WO
IPC
G05B19/418H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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