Reference wafer for controlling accuracy and method for producing the same, aligner, and method for fabricating device

WO0127979 Art A1 19. April 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0127979
Aktenzeichen: EP00966506
Anmeldetag: 16. Oktober 2000
Veröffentlichung: 19. April 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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