Verfahren und Apparat zum Aufbringen von Schichten eines Kontaktes, eines Kontaktdurchganges und eines Grabens mit Hochdichte-Metalionenplasma-Titanium-Und-Cvd-Titannitrid-Schichten

WO0127982 Art A1 19. April 2001

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0127982
Aktenzeichen
EP00928880
Anmeldetag
5. Mai 2000
Veröffentlichung
19. April 2001
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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