Microwave Processing in Pure H Fields And Pure E Fields

WO0130118 Art A1 26. April 2001

Anmelder: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0130118
Aktenzeichen: EP00970976
Anmeldetag: 18. Oktober 2000
Veröffentlichung: 26. April 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H05B6/64H05B6/74H01L21/326

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Penn State Research Foundation

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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