Wafer holder and epitaxial growth device

WO0131700 Art A1 3. Mai 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0131700
Aktenzeichen
EP00970148
Anmeldetag
27. Oktober 2000
Veröffentlichung
3. Mai 2001
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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