Ionengetterpumpe

WO0143162 Art A2 14. Juni 2001

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0143162
Aktenzeichen: EP00993351
Anmeldetag: 4. Dezember 2000
Veröffentlichung: 14. Juni 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01J41/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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