Chuck heater for improved planar deposition process

WO0144537 Art A1 21. Juni 2001

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0144537
Aktenzeichen: EP00976835
Anmeldetag: 2. November 2000
Veröffentlichung: 21. Juni 2001
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/00C03B8/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Corning Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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