Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung von Ätzkammern

WO0144540 Art A2 21. Juni 2001

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0144540
Aktenzeichen: EP00993421
Anmeldetag: 8. Dezember 2000
Veröffentlichung: 21. Juni 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H01L21/00C23F4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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