Reduction Of Plasma Charge-Induced Damage in Microfabricated Devices

WO0146993 Art A2 28. Juni 2001

Anmelder: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0146993
Aktenzeichen: EP00992926
Anmeldetag: 13. Dezember 2000
Veröffentlichung: 28. Juni 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wisconsin Alumni Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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