System for automatic control of the wall bombardment to control wall deposition

WO0147646 Art A1 5. Juli 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0147646
Aktenzeichen: EP00990398
Anmeldetag: 29. Dezember 2000
Veröffentlichung: 5. Juli 2001
Rechtsraum: WO
IPC: B08B9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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