Verfahren und Vorrichtung zum Abrichten eines Poliertuches

WO0149453 Art A1 12. Juli 2001

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0149453
Aktenzeichen: EP00989542
Anmeldetag: 28. Dezember 2000
Veröffentlichung: 12. Juli 2001
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B53/10B24B21/04// H01L21:306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von