A method of wafer band-edge measurement using transmission spectroscopy and a process for controlling the temperature uniformity of a wafer

WO0150109 Art A2 12. Juli 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0150109
Aktenzeichen: EP01902960
Anmeldetag: 5. Januar 2001
Veröffentlichung: 12. Juli 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H05B1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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