Apparat und Methode zum Entfernen Kondensierbarer Aluminiumdämpfe aus Aluminium-Ätzgasen

WO0152963 Art A1 26. Juli 2001

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0152963
Aktenzeichen: EP01904963
Anmeldetag: 19. Januar 2001
Veröffentlichung: 26. Juli 2001
Rechtsraum: WO
IPC: B01D8/00C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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