Micro electro-mechanical component and system architecture

WO0156067 Art A1 2. August 2001

Anmelder: Lockheed Martin Corporation, Steele, Daniel W., Chovan, Joseph L. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0156067
Aktenzeichen: EP01906737
Anmeldetag: 29. Januar 2001
Veröffentlichung: 2. August 2001
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L21/44H01L21/48H01L21/50H01L23/34H01L23/48B81B7/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Lockheed Martin Corporation
Steele, Daniel W.
Chovan, Joseph L.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lockheed Martin

US-amerikanischer Luft- und Raumfahrt- sowie Rüstungskonzern mit Sitz in Maryland, tätig in Entwicklung von Kampfflugzeugen, Raketensystemen, Satelliten und Verteidigungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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